退火真空炉的内热场结构由支撑构件固定在真空退火炉壳体内，温控结构由多个带全金属屏的圆柱组成，包括水冷电极、绝缘陶瓷件、控制热电偶，保温层和加热元件。

　　水冷电极通过钼螺钉与真空退火炉中的加热元件连接，水冷电极与真空退火炉的接触面上设有密封圈，该电极与真空退火炉的接触面水冷，还设有绝缘套圈，加热元件的外表面设有绝缘层，水冷电极和真空退火炉通过密封法兰固定，水冷电极插入绝缘层的部分由绝缘瓷制成，控温热电偶穿过真空退火炉的外壳和绝缘层，伸入温控结构的中心。

　　密封圈是真空橡胶圈或聚四氟乙烯环，绝缘套圈是云母套圈，发热元件为钼带，在每个全金属丝网圆柱中轴向布置三组发热元件，每组发热元件轴向分布4次。

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